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本文作者详细分析了原有的真空系统,存在的问题;阐明了系统改造的设计思路和具体的改造过程,以及改造所取得的成效.
浅谈EFM真空系统改造与维护
【摘 要】
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本文作者详细分析了原有的真空系统,存在的问题;阐明了系统改造的设计思路和具体的改造过程,以及改造所取得的成效.
【机 构】
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深圳赛格三星股份有限公司
【出 处】
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第五届全国设备维修与改造学术会议
【发表日期】
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2002年12期
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