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当薄膜厚度远小于光学波长时,由于薄膜的表面效应,薄膜的光学常数不仅具有波长色散关系,而且随薄膜厚度改变.对于不同厚度的薄膜,同一波长也会具有不同光学常数.
超薄Au膜光学常数及厚度的椭偏法测量
【摘 要】
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当薄膜厚度远小于光学波长时,由于薄膜的表面效应,薄膜的光学常数不仅具有波长色散关系,而且随薄膜厚度改变.对于不同厚度的薄膜,同一波长也会具有不同光学常数.
【机 构】
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中国科学技术大学物理系,安徽 合肥 230026;中国科学技术大学物理实验教学中心,安徽 合肥 230026
【出 处】
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中国物理学会2011年秋季学术会议
【发表日期】
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2011年9期
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