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本文以3wt％Si取向硅钢为基底和模版，采用多弧离子镀技术在其表面沉积制备出Si含量高达6.44wt％的 FeSi合金膜，两者相结合形成高硅梯度硅钢。XRD和SEM分析表明：FeSi合金膜由具有BCC结构的FeSi固溶体及 Fe3Si相组成;经过500℃1.5小时真空退火处理，两者结合更为紧密，合金膜成分更加均匀;电阻率和磁性能测量结果 表明：该FeSi合金膜的电阻率高达64.31μΩ.cm，饱和磁化强度和矫顽力分别达到1100emu／cm3和75.70e。