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传统的表面处理用湿法，采用化学溶剂浸泡擦洗。湿法不具有普适性，处理速度慢，特别是化学溶剂会造成二次污染，使得人们必须寻找新的表面处理技术。
本文介绍了低温等离子体具有的化学特性，阐述了采用低气压等离子体表面处理技术的局限性，浅谈了空气等离子体射流表面处理技术的优点。
空气等离子体射流表面处理技术
【摘 要】
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传统的表面处理用湿法，采用化学溶剂浸泡擦洗。湿法不具有普适性，处理速度慢，特别是化学溶剂会造成二次污染，使得人们必须寻找新的表面处理技术。
本文介绍了低温等离子体具
【机 构】
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合肥研飞电器科技有限公司科烨电物理设备制造有限公司安徽循环经济技术工程院
【出 处】
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中国真空学会2008年学术年会
【发表日期】
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2008年10期
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