【摘 要】
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采用放电等离子烧结技术制备了TbFeCo/Ti和BiO/Cu复合梯度靶材,利用扫描电子显微镜和能谱分析仪对材料的微观组织形貌及成分进行了分析.结果表明,合成的复合梯度靶材具有宏观组织不均匀性和微观组织的连续性的特征,显微组织中不存在微裂纹,消除了热应力的影响.与单一靶材相比,复合梯度靶材的强度和韧性更好,而且解决了在溅射过程中的散热问题,提高了成品率和使用率.
【机 构】
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北京工业大学新型功能材料教育部重点实验室(北京)
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采用放电等离子烧结技术制备了TbFeCo/Ti和Bi<,2>O<,3>/Cu复合梯度靶材,利用扫描电子显微镜和能谱分析仪对材料的微观组织形貌及成分进行了分析.结果表明,合成的复合梯度靶材具有宏观组织不均匀性和微观组织的连续性的特征,显微组织中不存在微裂纹,消除了热应力的影响.与单一靶材相比,复合梯度靶材的强度和韧性更好,而且解决了在溅射过程中的散热问题,提高了成品率和使用率.
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