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综合论述了铜缓蚀剂的发展历程及应用研究现状。并重点介绍了几种新型铜缓蚀剂的应用研究现状和发展前景。
铜缓蚀剂的发展历程及应用研究现状
【摘 要】
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综合论述了铜缓蚀剂的发展历程及应用研究现状。并重点介绍了几种新型铜缓蚀剂的应用研究现状和发展前景。
【发表日期】
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2008年期
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