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本文从TFT-LCD减薄目的、原理出发，从而引入蚀刻用玻璃载入装置，探讨关于TFT-LCD液晶玻璃减薄过程中所需玻璃载入装置的各项技术要求、可靠性、可行性及发展趋势。
关于TFT-LCD蚀刻用载入装置的探讨
【摘 要】
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本文从TFT-LCD减薄目的、原理出发，从而引入蚀刻用玻璃载入装置，探讨关于TFT-LCD液晶玻璃减薄过程中所需玻璃载入装置的各项技术要求、可靠性、可行性及发展趋势。
【机 构】
：
成都工投电子科技有限公司
【出 处】
：
中国硅酸盐学会2012年电子玻璃技术研讨会
【发表日期】
：
2012年期
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