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会议论文
ZnO同质p-n结的研究
ZnO同质p-n结的研究
来源 :中国真空学会第六届全国会员代表大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:apap4444
【摘 要】
:
调节反应气体中O2的比例和RF电源的功率可以增加本征施主VO的形成焓,降低本征受主VZn和O1的形成焓,制备出p型ZnO薄膜;采用掺杂金属Al制备出低电阻n型ZnO薄膜,在此基础上得到
【作 者】
:
杨晓杰
谢家纯
徐军
刘洪图
许小亮
徐传明
【机 构】
:
中国科技大学物理系,合肥,230026
【出 处】
:
中国真空学会第六届全国会员代表大会
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
形成焓
反应气体
掺杂金属
薄膜
低电阻
性能
施主
基础
功率
调节
电源
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调节反应气体中O2的比例和RF电源的功率可以增加本征施主VO的形成焓,降低本征受主VZn和O1的形成焓,制备出p型ZnO薄膜;采用掺杂金属Al制备出低电阻n型ZnO薄膜,在此基础上得到性能可观的ZnO同质p-n结。
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