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本文采用CFD技术和实侧手段，从气流平行度方面，对100级洁净室地板回风口最佳开孔率问题进行了研究。针对高度为2.8 m的100电子厂房，采用室内零方程模型，模拟了送风速度为0.25 m/s时，不同跨度下地板回风口开孔率分别为10％,20％,30％,40％四种情况的室内气流分布。为了验证数值模拟的可信性，对某典型的100级电子厂房进行了模拟和现场实测，并进行了优化，结果表明，改善前后的实测与模拟结果均吻合良好。综合考虑孔口速度、气流平行度等因素，通过数值模拟，给出了分别依据国内标准和IEST标准，不同洁净房间跨度对应的最佳地板回风口开孔率的建议值。