MEMS微器件用永磁体电镀技术的研究

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【摘要】

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【作者】

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汪红丁桂甫苏宇锋

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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MEMS 微器件 CONiMnP 永磁体薄膜掩膜微电铸(镀) 磁性能

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回回产卜爹仇贱回——回日E回。”。回祖一回“。回干肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》砧叫]们羽制作:陈恬’＃陈川个美食 Back to yield Buddy revenge - back to Japan E back. “Back once again.” Back to the dried meat in the magic N_. NH lP7-ewwe - “a” $ MN.W; - __._ - ------ "anvil called] feather production: Chen Tian

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