论文部分内容阅读
高温扩散是多晶太阳电池制造工艺中的核心环节。良好的扩散均匀性不仅在电池片电性能上有一定体现，也降低了刻蚀和烧结工序在制作高方阻电池片时的难度。本文从扩散压力方面研究了管式扩散炉均匀性及气氛场的影响因素，通过调节抽风大小得到不同的均匀性和气氛场特征。在软着陆式闭管扩散炉进行扩散，使用CRESBOX测试均匀性，模拟实验检测气氛场特征。