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高离化磁控溅射技术的高速沉积
【机 构】
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北京大学深圳研究生院新材料学院
【出 处】
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第五届全国工业等离子体会议暨第五届高离化磁控多弧技术研讨会及第二届 PVD 企校合作高层论坛
【发表日期】
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2017年12期
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