Cr浓度和O2压对ZnO:Cr薄膜光学性能影响

来源 :全国第14次光纤通信暨第15届集成光学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yangbao_2002
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本文采用ZnO和Cr靶交替溅射的方法在载玻片上制备了不同Cr含量的ZnO薄膜,以及在不同O2偏压下的Cr掺杂ZnO薄膜。利用X射线衍射、吸收光谱和光致发光光谱(PL)对制备的样品进行了结构和光学性能的研究。结果表明,Cr掺杂之后使ZnO的晶格常数变小,并且随着Cr掺杂浓度的增加,吸收边发生红移,ZnO带隙变小。PL光谱结果显示出样品有三个发光峰:395nm,503nm和670hm,分别与自由激予复合,O填隙(Oi)和Cr3+离子有关。Cr浓度和O2偏压增加会导致ZnO的这三个发光峰强度增强。
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