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针对微细电解加工的要求，研制出用于微细电解加工的纳秒级脉冲电源，其最小稳定输出脉宽100ns，占空比和频率均独立可调。针对微细电解加工工艺的特点设计了快速保护电路，为实现高精度的微细电解加工提供了保证。斩波主器件采用快速互补功率场效应管，解决了波形失真问题。利用本电源样机加工出典型微细零件，验证了该电源的有效性。